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本文主要介绍国内外激光技术在合成金刚石薄膜、立方氮化硼薄膜、超导薄膜、半导体薄膜等的最新方法.
潘俊德 李钰.激光合成特殊性能薄膜的新方法[J].光电子激光,1990,(5):270~276