用计算机控制的激光融刻装置对几百埃厚的Gd_1Ba_2Cu_3O_(7-δ)超导薄膜和二百微米左右厚的Y_1Ba_2Cu_3O_(7-δ)超导片进行不同尺寸微桥的融刻加工试验,并用扫描电镜、扫描俄歇电子谱,α-step仪以及R-T测量装置对新加工的微桥进行形貌观察、测量,成份剖面分析以及相应的超导电性测量。对所得的实验结果进行了讨论。
徐鸿达,竺佩芳,杜娟萍,李宏成.激光束在Gd_1Ba_2Cu_3O_(7-δ)超导薄膜、Y_1Ba_2Cu_3O_(7-δ)超导片上的细微加工[J].光电子激光,1991,(1):