激光键合是制作微电子器件的最新技术之一。但是随着微电子技术的发展,现有激光键合技术已不能满足需要。美国波特兰科电公司设计了一种带式自动激光键合装置(简称Laser TAB)。该装置以激光技术为基础,内有一台称为伪脉冲激光器的Nd:YAG激光器。这台经特殊设计的激光器能更准确地控制激光键合,特别适用于含有数百个I/O(输入/输出)端的复杂集成电路的键合。设计这个激光器时考虑到键合点的宽度只有50μm,间距小于100μm,而且不能损