在布拉格衍射的声光器件中,有时要求叉指换能器具有较大的带宽。由Chirp换能器结构可以实现较大带宽。但是,要求具有较高的工艺水平。利用常规工艺较难实现。本文提出一种新结构.利用常规光刻工艺可很容易实现。
赵伟,许承杰,李公羽,李清棉.一种新型表面波叉指换能器[J].光电子激光,1993,(1):