光学薄膜反应离子镀技术是近年来新发展的一种光学薄膜技术,正在受到国内外的关注,传统的反应蒸发工艺制备的光学薄膜呈显著的柱状结构,表面粗糙等缺陷;而反应离子镀工艺制备的光学薄膜,牢固度、致密度、表面光洁度等光机性能均有明显改善,薄膜
王建成,谢国会,高健存,韩丽瑛.反应离子镀TiO_2膜的聚集密度的测定[J].光电子激光,1993,(3):
