本文论述了光学薄膜淀积过程的石英晶体振荡监控的结构,原理及控制系统,分析了该监控方法的测量精度,有效范围及其影响精度的主要因素,并对该监控方法在光学
林涛,袁长胜,成树喜.光学薄膜的石英晶体振荡监控[J].光电子激光,1993,(3):
