TH741.4
本文介绍一种用激光全息波面错位来检测棱镜表面精度的方法。具有光路简单,易于调节,精度较高(λ/26),以及对光学系统主要零件的质量要求较低等特点。
戴炳明 汪岳峰.用激光全息错位法检测棱镜表面精度[J].光电子激光,1993,(5):272~276