成像光学系统的基本性能的要求是分辩率。根据成像原理,分辩率受光波衍射的限制。提高衍射极限分辩率的途径之一是减小波长。X射线光学成像是在这一指导思想下开始研究的,电子光学成像也是这样。而且这两种成像技术的研究,在历史上几乎是同时并进的。1895年伦琴发现X射线,1897年J.J汤姆逊证实了电子的存在;1923年康普顿证明了掠入射条件下射线在抛光金属表面可以像可见光一样反射、聚焦,1926年H。布希等证明了旋转对称静电场和静磁场可以使电子束偏折、聚焦和成