TQ174.758
本文用强TEACO2脉冲激光诱发SiH4+CH4等离子体化学气相反应制备出纳来SiC陶瓷粉末,分析并讨论了制备粉末材料的实验过程,得到了粉末合成的最佳工艺条件。
傅广生 于威.脉冲激光等离子体合成SiC陶瓷粉末过程研究[J].光电子激光,1994,(5):290~295