利用光学多道仪(OMA)实时在线测量微小物体尺寸的研究
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TH741

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Measurement of Tiny-Object Size by Means of OMA
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    本文介绍了一种利用光学多道仪测量微小物体尺寸的方法。从物体的散射光分布推算被测物体尺寸,并给出实测结果,研究表明应用此方法在研究和生产过程中对微小物体进行在线测量是可行的。

    Abstract:

    Laser-diffraction technique is described for measuring directly and insitu the absolute size of tiny object size. Diffraction and Mie theory are used to calculate scattered light that describe the interaction between light and tiny object. The object-size dependecy of the technique performance is established, and the effect of refractive index of the object is evaluated. Example of measurements in the laboratory are given.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
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王式民 吴月珠.利用光学多道仪(OMA)实时在线测量微小物体尺寸的研究[J].光电子激光,1994,(6):356~359

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