TN252
对脊形单模硅光波导的模式特性进行了理论设计。分析了λ=1.3μm的脊形硅光波导的结构参数及工艺流程。这种光波导的数值孔径和单模光纤匹配,传播损耗低于平面条形硅光波导,文中并对传播损耗作了讨论。
韩关云.脊形单模硅光波导的设计[J].光电子激光,1995,(2):79~82,87