TN248.22 TN249
本文详细介绍了RF放电中的四电极系统,并对其纵向电位分布、横截面上的电场分布及有关放电特性进行了深入的探讨。
This paper introduces the four-electrode structure with RF discharge at full length,in which the longitudinal voltage distribution,the cross-sectional field distribution and other relative characteristics are thoroughly analysed.
王又青 安承武. RF放电中的四电极系统及其有关特性[J].光电子激光,1996,(3):188~192