RF放电中的四电极系统及其有关特性
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TN248.22 TN249

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The Four-electrode Structure with RF Discharge
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    本文详细介绍了RF放电中的四电极系统,并对其纵向电位分布、横截面上的电场分布及有关放电特性进行了深入的探讨。

    Abstract:

    This paper introduces the four-electrode structure with RF discharge at full length,in which the longitudinal voltage distribution,the cross-sectional field distribution and other relative characteristics are thoroughly analysed.

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王又青 安承武. RF放电中的四电极系统及其有关特性[J].光电子激光,1996,(3):188~192

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