TN25
本文报道了利用Si单晶各向异性的特点,在两块Si单晶片上,择优蚀刻出排列形状不同的V形Si槽,通过嵌入V形槽中的光纤,将间距为60μm的10个信号耦合到探测器的间距为1000μm的10个接收面上。
孟淑华 王淑荣.光纤与波导的对接耦合[J].光电子激光,1996,(4):207~209