首页 > 过刊浏览>1997年第卷第1期 >25-28
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微米亚微米光栅的矢量衍射特性研究
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TN201

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    本文应用微电子制板和离子刻蚀技术，研制成功凹槽光栅结构接近可见光波长的一组矩形光栅，进行了衍射特性与刻蚀周期，深度关系的实验，得到了与矢量藕合波理论计算一致的结果。

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引用本文

郑师海 李德华.微米亚微米光栅的矢量衍射特性研究[J].光电子激光,1997,(1):25~28

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