TP391.73 TP212
国家教委光学信息技术开放实验室资助
本文提出一种用于反向工程的非接触面形传感器,该传感器具有测量范围大、对面形斜率变化急缓不敏感、原理上线性的特点,且结构简单。
姜晶 方志良.反向工程中的非接触面形传感器[J].光电子激光,1998,(3):187~188