铒,氧共注a—Si：H和a—SiCx：H的1.54μm光致发光
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中图分类号:
TN383.2
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中国科学院半导体研究所材料科学开放实验室和国家教委光学信息技术科学开放实验室的资助
Photoluminescence for Er,O CO implanted in a Si:H and a SiCx:H Films
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引用本文
薛俊明.铒,氧共注a—Si：H和a—SiCx：H的1.54μm光致发光[J].光电子激光,1998,(4):301~303
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