单片集成MSM/HEMT长波长光接收机
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TN256 TN491

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国家“八六三”计划资助项目![863 -3 0 7-0 6-0 2 ( 0 3 ) ]


Monolithically Integrated MSM/HEMT Long-wavelength Phot oreceiver
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    本文介绍了利用InGaAs金属-半导体-金属(MSM)长波长光探测器与InA1As高电子迁移率晶体管(HEMT)单片集成来实现长波长光接收机的材料和电路设计、工艺途径等研究工作,基本解决了两种器件集成的工艺兼容性的问题,实现了1.3Gb/s传输速率的单片集成长波长光接收机样品。

    Abstract:

    This paper presents the work inclu dintg the material and circuit design,the process ot realizing long-wavelength ph otoreceiver by monolithically integrated InGaAs metal-semiconductor-metal (MSM ) photodetector and InAlAs-InGaAs High Electron Mobility Transistor (HEMT).The process compatibility for integrating the two kinds of devices has been done a lmost well and the sample with transmitting rate of 1.3 Gb/s has been obtained.

    参考文献
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    引证文献
引用本文

敖金平 曾庆明.单片集成MSM/HEMT长波长光接收机[J].光电子激光,2000,(3):241~243

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