MCM倒装焊技术在CMOS-SEED灵巧象素中的应用研究
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TN256 TN305.94

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国家“八六三”计划资助项目!( 863 -3 0 7-0 6-0 4)


MCM Flip-chip-bonding Technique Used in Fabrication of CMOS-SEED Smart Pixel
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    摘要:

    介绍了新型CMOS-SEED灵巧像素结构原理及相关的MCM倒装焊混合集成技术,采用厚光致抗蚀剂作掩模,通过磁控溅射和真空蒸发相结合研究民与CMOS-EED有关的In凸点阵列成型,倒装焊、芯片间隙注和及子芯片衬底减薄或去除等关键工艺。

    Abstract:

    CMOS-SEED smart pixel and related M CM flip-chip-bonding technique is introduced.Using magnetic sputter and vacuum v aporation method with thick photoresist as mask,In-bump array manufacture,flip -chip-bonding process,fullfill between chips and removing or thinning of the s ubstrate for sub-chip related with CMOS-SEED was presented.

    参考文献
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    引证文献
引用本文

李献杰 张钢. MCM倒装焊技术在CMOS-SEED灵巧象素中的应用研究[J].光电子激光,2000,(3):244~247

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  • 最后修改日期:1999-10-05
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