首页 > 过刊浏览>2000年第卷第3期 >279-281,297
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二元光学元件制作过程中的线宽误差
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TN305.7 TN256

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Linewidth Error in Fabrication of Binary Optical Element
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    基于标量衍射理论，首先５得出线宽增加情况下４阶二元光学元件衍射效率的解析式；并以４阶、８阶二元光学元件为例，进行计算机模拟并系统分析红宽增加和线宽减小两种情况下，线宽误差对二元光学元件衍射效率的影响。指出线宽误差对二元光学元件衍射效率影响较大。模拟计算结果对二元光学元件的制作提供重要的理论指导。

    Abstract:

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引用本文

李红军 赵晶丽.二元光学元件制作过程中的线宽误差[J].光电子激光,2000,(3):279~281,297

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