硅中注入高浓度碳形成微晶碳化硅的研究
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中图分类号:
TN304.24
基金项目:
国家自然科学基金资助项目 (5 9972 0 13 )
Study on Micro-crystallization of SiC with C Implanted onto Crystal Silicon
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Affiliation:
Fund Project:
引用本文
孙钟林 薛俊明 等.硅中注入高浓度碳形成微晶碳化硅的研究[J].光电子激光,2001,(12):1247~1249
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- 最后修改日期:2001-09-07
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