移相式轮廓测量法相移误差的计算机模拟校正
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TP391.9 TM93

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The Calibration Algorithm of Phase-shifting with the Help of Computer Emluator in Phase-measuring Protilometry
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    摘要:

    在移相式轮廓测量法(PMP)中,提出了基于快速傅里叶变换(FFT)的相移校正算法。利用计算机仿真技术发现,在移相式轮廓测量法的固定步长出现定值偏差时,在测量结果频域的光栅二倍频处出现峰值。据此提出定值相移误差的频域检测方法,并通过滤波使误差得到抑制。

    Abstract:

    In phase measuring profilometry (PMP),a new calibration algorithm of phase shifting based on fast Fourier transform (FFT) is presented.With the help of computer emluator,it is found that a peak appear at double fundamental frequency spectrum of fringe pattern in Fourier domain,when there is a fixed error in each step of the moving of the project grating.Based on this,a new method of test error in Fourier domain is presented,and the error is minished by filter.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

司书春 王蕴珊 等.移相式轮廓测量法相移误差的计算机模拟校正[J].光电子激光,2001,(8):868~871

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  • 最后修改日期:2000-11-24
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