工艺误差对EDG器件性能的影响
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TN256 TN305.

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浙江省科技计划重大项目基金资助项目(0 0 110 10 2 7),高等学校重点实验室访问学者基金资助项目 ([2 0 0 0 ] 12 3)


Effects of Fabrication Errors on the Performance of an EDG Demultiplexer
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    定量地分析了蚀刻衍射光栅 (EDG)波分复用 (WDM)器件的制作过程中存在的光栅槽面圆角、槽面倾斜以及槽面粗糙等工艺误差对器件性能、特别是插入损耗的影响。当圆角半径、槽面倾斜角和粗糙度分别为 1μm、1°和 40 nm时 ,相应产生的损耗为 1.7d B、0 .7d B和 1d B。

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引用本文

文泓桥,石志敏,盛钟延,何赛灵,何建军.工艺误差对EDG器件性能的影响[J].光电子激光,2002,(12):1219~1222

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  • 最后修改日期:2002-07-03
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