19.5nm波段光电成像系统分辨率的实验研究
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中图分类号:
TN362
基金项目:
国家自然科学基金资助项目 (6993 80 2 0 )，中国科学院长春光机与物理研究所创新基金资助项目 (ZJ0 0 Q11B)
The Experimental Study on the Resolution of the Electro-optical Imaging System at 19.5 nm
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引用本文
薛玲玲 陈波.19.5nm波段光电成像系统分辨率的实验研究[J].光电子激光,2003,(1):17~19
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- 最后修改日期:2002-08-20
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