TN304 TN247
提出了利用激光非接触点扫描测量涂层厚度的方法.研究了激光照射新型材料ZrO28Y2O3涂层粗糙表面上光点的高斯分布,并利用扫描电子显微镜得到了涂层粗糙表面的显微精细结构.采用激光-面阵CCD传感器-计算机数字图像处理技术测量涂层厚度.实验结果表明:所提出的测量方法是可行的,测量涂层厚度的重复性误差在±5 μm范围内.
周晨波,于文英,邹华,刘方军,段爱琴.等离子喷涂ZrO28Y2O3涂层厚度测量方法研究[J].光电子激光,2003,(1):71~74