利用微波等离子体增强化学气相沉积技术，在玻璃衬底上600℃～650℃的低温下制备出了碳氮纳米管薄膜，氮含量为12％，采用扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子谱(XPS)和Raman光谱等测试手段对所制备薄膜的表面形貌、微结构和成分进行了分析，并研究了其场致电子发射特性，阈值电场为3．7V／μm。当电场为8V／μm时，电流密度为413．3μA／cm^2,实验表明该薄膜具有优异的场发射性能，而且用这种方法制备的薄膜将大大简化平板显示器件的制作工艺。