声表面波器件基片金刚石薄膜厚度的测量
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中图分类号:
TN65 TN247
基金项目:
天津市自然科学基金重点资助项目(013800611、003800211)，天津市教委科技发展基金资助项目(20010520)
The Thickness Measurement of Diamond Film for a SAWD Substrate
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引用本文
陈希明 岳澄 杨保和 曲长庆 傅德欣 熊瑛.声表面波器件基片金刚石薄膜厚度的测量[J].光电子激光,2003,(8):824~826
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- 最后修改日期:2003-01-22
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