建立了实际刻划光栅的物理模型，给出了相应的衍射效率表达式，并研制出了在Littrow安装下一级衍射效率达到97．2％的大功率10．6μm红外激光器用反射式闪耀光栅。实际刻划光栅通常都存在零级面，采用傅里叶分析方法可以推导出计算带有零级面的闪耀光栅衍射效率的一般表达式，由理论分析可知，零级面是造成闪耀光栅衍射效率下降的原因之一。在工艺过程中．通过加大刻划负载使零级面减小，加大侧向压力强化对闪耀面的抛光等，是提高光栅刻槽质量和衍射效率的有效途径。