Mirau相移干涉中的参考面对光路造成了中心遮拦。理论分析了被测面视场、Strehl判据、分辨本领、调制传递函数MTF以及残余像差和中心遮拦的关系，得到参考面的允许直径0．8～1．28mm。设计了参考面直径D=1．0mm的Mirau干涉物镜，其中心遮拦ε=0．129，和没有中心遮拦的系统相比，MTF变化的幅度不超过6％，允许的残余像差为0．978。