片式电阻激光微调过程中的调阻精度控制
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中图分类号:
TM54 TN249
基金项目:
国家高技术产业化光电子专项资助项目(2002055)，长春市科技攻关计划资助项目(02 130G22)，中国科学院研究生科学与社会实践资助专项创新类项目资助，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所第三期青年创新基金资助
The Precision Control During Chip Resistor Laser Trimming
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王志娟 孙继凤 郭晓光 汤建华 于前洋.片式电阻激光微调过程中的调阻精度控制[J].光电子激光,2004,(1):86~88
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