激光图形发生器调焦系统设计
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TN249

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Design of Focusing System in Laser Pattern Generator
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    为提高激光图形发生器的线条制作精度和制作效率,设计了新的调焦系统。调焦采用光学离轴探测原理,调焦辅助光源直接采用半导体激光器(LD)的准直椭圆光束,探测器为二象限光电池,离焦信号则采用除法构建。调焦系统具有过阻尼的二阶系统特征,新嵌入的PID控制器提升了系统的动态性能,并使系统闭环精度达0.2μm离焦量,同时能产生预期的基于不同离焦量的变线宽图形。

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引用本文

梁宜勇 白剑 杨国光.激光图形发生器调焦系统设计[J].光电子激光,2005,(10):1202~1205

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  • 收稿日期:2004-09-23
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