基于数学形态学的微位移测量方法的研究
DOI:
CSTR:
作者:
作者单位:

作者简介:

通讯作者:

中图分类号:

TN247

基金项目:

江西省自然科学基金资助项目(0312003),江苏省光电技术重点实验室开放基金资助项目(KJS01040)


Research on the Micro Displacement Measurement by Using the Morphology
Author:
Affiliation:

Fund Project:

  • 摘要
  • |
  • 图/表
  • |
  • 访问统计
  • |
  • 参考文献
  • |
  • 相似文献
  • |
  • 引证文献
  • |
  • 资源附件
  • |
  • 文章评论
    摘要:

    用CCD摄像传感器摄取激光干涉图纹,采用Visual C^ 编程,对干涉图像用反高斯变换的光强平均分布的快速处理,保证干涉图纹信息的完整性;同时运用数字图像处理学中的LOG算子对干涉图像进行边缘检测,用数学形态学中的零交叉细化处理方法对干涉条纹进行细化处理,从而测量出引起条纹相位变化的微位移,其精度可达1/100的条纹间隔。可实现光学亚μm和nm尺度的测量。

    Abstract:

    Using the intensity hypodispersion of the anti-Gauss distribution and visual C~(++) program,a series of interference fringes image shot with CCD fast processing method were obtained.To assure the information integrality of the interference fringes,the edge detection instead of binary method with the LOG operator in digital image processing and the effective thinning method of laser interference fringes with zero crossing in the morphology were used.Using the phase of laser interference thining friges,the micro displacement was measured.The experiment indicates that the program is available.The measurement accuracy can achieve one hundredths fringes interval.This method can realize optical measurement in the scale of submicron and millimicron.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

傅继武 刘南生 谈振兴 王鸣.基于数学形态学的微位移测量方法的研究[J].光电子激光,2005,(3):336~339

复制
分享
文章指标
  • 点击次数:
  • 下载次数:
  • HTML阅读次数:
  • 引用次数:
历史
  • 收稿日期:
  • 最后修改日期:
  • 录用日期:
  • 在线发布日期:
  • 出版日期:
文章二维码