提出一种基于平行板电容测微原理进行多层膜材料的测厚方法。该方法用有效电极直径西3mm电容传感头，通过变化空气隙△h进行多次测量，对输出电压V值进行线性拟合，得到空气隙与测量电压的关系，计算出被测厚度，测量精度达0．01μm。若采用有效电极直径西1mm传感头，测量精度可达0．001μm。通过理论分析和实验证实，该方法不需对被测材料提前标定相对介电常数，不需特殊制备样件，是非接触测量，测量方法简单、成本低。因此适用于各种薄膜、特别是多层结构膜的无损膜厚测量及平面度测量。