无水化学沉积法制备Sb2S3薄膜
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TQ560.6 O484.1

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国家自然科学基金资助项目(50172061)


Sb2S3 Thin Films Prepared with Non-aqueous Chemical Bath Deposition
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    采用无水化学沉积(NCBD)法在玻璃基片上制备了Sb2S3薄膜。先用无水乙醇将4.0mL浓度为0.1mol/L的SbCl3乙醇溶液稀释至39.6mL,再加入0.4mL浓度为0.5mol/L的CH3CSNH2乙醇溶液,搅拌均匀后垂直放入玻璃基片,在15~18℃温度下沉积72h后,进行退火处理。利用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对薄膜在退火前后的结构特性进行了研究,利用光学测试计算了薄膜的光学带隙。结果表明,高温退火使薄膜由退火前的非晶态转变为多晶的Sb2S3结构(正交晶系),薄膜的直接光学带隙从1.86eV降低为1.75eV。

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引用本文

杜金会 于振瑞 李正群 张加友 王妍妍.无水化学沉积法制备Sb2S3薄膜[J].光电子激光,2005,(5):530~533

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