采用RF磁控溅射技术制备了Sb2O3掺杂ZnO薄膜，通过X射线光电子能谱仪（XPS）、X射线衍射仪（XRD）和紫外-可见光（UV-Vis）分光光度计研究了Sb2O3对ZnO薄膜结构和光吸收性能的影响。结果表明：Sb2O2的掺杂影响了ZnO的原子和电子状态、晶粒的生长方式和光吸收性能。薄膜中Sb以多种形态存在：替位原子和化合物（Sb2O3、Zn，Sb2O14）等，ZnO呈混晶方式生长；随着Sb含量的增加，其引起的晶格畸变和次晶相的含量逐渐增加；掺杂薄膜在远紫外（UVA）波段的吸收显著增强，UV吸收峰变窄，强度增大，吸收边变得陡峭且向短波方向移动达5nm，在Vis波段的吸收有所增强。