SOI基光学电流传感器的设计与仿真
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TP212

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国家自然科学基金


Design and Simulation of Optical Current Sensor Based on SOI
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    将光纤与微电子机械系统(MEMS)技术相结合,设计了一种新颖的检测50Hz高压交流电的光学电流传感器(OCS)。用ANSYS软件分析了器件的模态、动态响应与热膨胀特性,并通过Matlab软件模拟了器件的工作性能。模拟计算表明:ANSYS与理论公式得到的结果基本一致;传感器的量程为100~3600A,对于大电流下的灵敏度可达到0.02dB/A,温度变化±50K时传感器相应的测试误差为0.2%。

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引用本文

赵本刚,刘玉菲,穆参军,徐静,吴亚明. SOI基光学电流传感器的设计与仿真[J].光电子激光,2006,(12):1447~1452

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  • 收稿日期:2006-04-17
  • 最后修改日期:2006-06-15
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