采用避免激光器不稳定的色散调Q YAG激光谐振腔设计，用Ⅰ类非临界相位匹配LBO晶体，在腔内产生二次谐波，产生的532nm与腔内1064nm在腔内经过Ⅱ类临界相位匹配LBO晶体产生355nm的紫外激光。为了提高谐波转化效率，分别在腔内插入了λ／4波片、偏振片，得到在泵浦捕运光功率约为120W时输出2．5W的355nm紫外激光，功率稳定性RMS在3h内小于0．8％。