O3有效钝化多孔硅的研究
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TN305.2

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Investigation of an Effective Passivation Method for Porous Silicon with the Aid of Ozone Molecules
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    摘要:

    开发了用O3氧化钝化多孔Si(PS)的实用工艺方法。O3的基本作用是对Si-Hx和Si悬挂键(DB)的充分氧化,经过随后158d贮存的老化实验,得到了表面Si—H,键完全被Si-O3膜和Si-烷基膜所替代并覆盖的PS,其光致发光(PL)强度达到稳定的增强,这归因于PS纳米晶粒的表面势垒高度的提高以及量子效率的提高。

    Abstract:

    A practical oxidizing technique with O_3 has been developed for the passivation of porous silicon(PS).The fundamental role of ozonization may be attributed to the strong oxidizing process of the SiH_x species and dangling bonds(DB).The subsequent 158 d aging effect with the presence of absorbed O_3 molecules is much effective for the oxidizing process.At last we achieve a complete replacement of Si-H_x covered with Si-O_x film and Si-alkyl film.The steady increase of photoluminescence(PL) intensity is due to the increase in barrier's height efficiency and the increase in quantum efficiency for the nano-crystallites.

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引用本文

黄燕华,陈松岩,江炳熙. O3有效钝化多孔硅的研究[J].光电子激光,2006,(4):450~454

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  • 收稿日期:2005-01-26
  • 最后修改日期:2006-02-15
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