提出一种利用ZEMAX软件设计、分析评价平场全息凹面光栅的方法。该方法不需要求解复杂的高级像差方程组，兼顾平像场和提高分辨率的效果显著。ZEMAX软件能对设计结果迅速进行评价，减少了人工运算，提高了设计结果的可信度及工作效率。研制了直径Ф=60mm、F／#=3．3和使用波长范围为652～704nm的全息凹面光栅，对设计结果分析表明：在点光源再现情况下，理论分辨率优于0．1nm；在宽度为30μm缝光源再现情况下，理论分辨率优于0．2nm。实际研制结果与理论分析相符。