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带透明电极可变形反射镜的研制
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TP211.6

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Fabrication of Deformable Mirror with Transparent Electrode
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    提出了基于微电子机械系统（MEMS）技术的一种新型的带透明电极的可变形反射镜。给出了透明电极、超薄镜面和驱动电极的制作工艺及其工作特性。静态测试结果表明，带透明电极的可变形反射镜驱动电压低，最大变形量可达19μm，有效反射面积可达200mm^2，能很好地改善整个自适应系统的性能。

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引用本文

向东,陈海清,王青玲,陈家凤.带透明电极可变形反射镜的研制[J].光电子激光,2006,(7):849~853

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  • 收稿日期:2005-10-03
  • 最后修改日期:2006-02-22
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