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超声喷雾法制备大面积太阳电池TCO膜及其工艺研究
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[cstr]
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TM914.4

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天津市重点科研项目


Preparation of Large-area TCO Films for Solar Cells with Ultrasonic Spray Deposition Method
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    摘要:

    对基于超声喷雾热分解工艺制备400mm×400mm大面积太阳电池TCO膜和制备大面积SnO2∶F薄膜工艺作了研究,包括温度、掺杂比、酒精含量、载气流量和喷射距离等工艺参数对薄膜性能的影响.并将实验制得的薄膜用于制备非晶硅薄膜电池,其效率达到了5.96%.

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引用本文

赵庚申,王庆章,郭天勇,赵二刚.超声喷雾法制备大面积太阳电池TCO膜及其工艺研究[J].光电子激光,2007,(11):1317~1321

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  • 最后修改日期:2007-05-27
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