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采用差分相位测量方法的MEMS运动表征系统
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[cstr]
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TN215

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国家高技术研究发展计划(863计划) , 高等学校博士学科点专项科研项目


Dyanmic MEMS Characterization System Using Differential Phase Measurement Method
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    介绍了一种基于计算机控制的频闪干涉测试系统,用于测量可动微机电系统(MEMS)器件的离面运动,实现了nm级分辨力.系统采用五步相移高精度干涉测量方法,通过选择器件上的固定点作为参考点,实现差分测量模式,有效消除了随机误差的影响,提高了系统测量的重复性,10次测量的重复精度为3.17 nm.通过研究微谐振器的离面运动特性,说明该系统的强大功能.

    Abstract:

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引用本文

郭彤,胡春光,陈津平,傅星,胡小唐.采用差分相位测量方法的MEMS运动表征系统[J].光电子激光,2007,(11):1340~1343

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  • 最后修改日期:2006-12-18
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