Pd-Ag合金膜拉锥光纤H2敏传感器研究
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TN253 TP212.14

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Technique Study of a Tapered Fiber Hydrogen Sensor Based on Pd-Ag Alloy Thin Film
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    采用熔融拉锥机,制作了具有均匀腰锥的H2敏传感器结构.拉锥长度设定为9 000 μm,拉锥速度0.1 mm/s,火焰高度为3 mm,拉锥后光纤的腰锥体处的均匀直径为30 μm.用电子束蒸发装置在拉锥光纤均匀锥段表面上生长H2敏Pd-Ag合金薄膜,镀膜室内真空度为2.9×10-3Pa,束流为0.35 A/s,沉积时间为10 min,膜厚为50 nm.设计了拉锥光纤H2敏传感器的实验装置,测试数据表明:Pd-Ag合金膜拉锥光纤H2敏传感器能够精确检测低于4%的H2浓度,适合于单点或多点分布式H2泄漏探测.

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引用本文

胡建东,林志立. Pd-Ag合金膜拉锥光纤H2敏传感器研究[J].光电子激光,2007,(3):310~313

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  • 收稿日期:2006-05-07
  • 最后修改日期:2006-07-18
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