报道了W级实用化全固态266 nm紫外激光器的设计和应用.在简单紧凑的平平直腔内,使用声光Q进行调制,通过LD端面抽运Nd:YVO4激光晶体产生平均功率8 W的1064 nm近红外光.采用Ⅱ类临界相位匹配的KTP晶体进行腔内倍频,产生平均功率5 W的532 nm绿光.然后,采用Ⅰ类临界相位匹配CsLiB6O10(CLBO)晶体进行腔外四倍频,产生平均功率1.3 W、脉宽约11 ns和重复频率20 kHz的266 nm紫外激光.用该紫外激光器清洗发光二极管(LED)基板,结果表明:激光器性能稳定,清洗效果良好.