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脉冲激光微细加工曝光区温度的不接触测量
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TN247

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国家自然科学基金


Remote Temperature Measurement of the Exposed Region in Pulse Laser Assisted Microprocessing
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    针对大功率脉冲激光微细加工区域工作激光对辐射测温的影响,提出在周期脉冲激光的间隙内提取温度信号的新方法,应用采样保持原理,研制相应的测量系统,通过温度定标,从A/D采样值直接读取温度值.结果表明,该温度测量系统能有效地消除工作激光对温度测量的干扰,准确地测量曝光区域的温度,在温度为500℃左右时,系统的温度分辨能力可达0.03℃,能满足激光扩散、激光合金等工艺要求.

    Abstract:

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引用本文

王小林,王昱林,徐攀,叶玉堂,吴云峰,刘霖,范超,焦世龙.脉冲激光微细加工曝光区温度的不接触测量[J].光电子激光,2007,(9):1096~1099

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  • 收稿日期:2006-09-24
  • 最后修改日期:2007-01-16
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