无掩膜激光辅助刻蚀GaAs图形中的衍射条纹分布
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中图分类号:
TN305.7
基金项目:
国家自然科学基金 , 教育部科学技术研究项目 , 四川科技厅资助课题 , 国防重点实验室基金
Diffractive characteristics of laser assisted chemical etching GaAs
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引用本文
刘旭,吴云峰,叶玉堂,刘霖,陈镇龙,田骁,罗颖,王昱琳.无掩膜激光辅助刻蚀GaAs图形中的衍射条纹分布[J].光电子激光,2008,(6):773~775
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- 最后修改日期:2006-12-13
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