首页 > 过刊浏览>2008年第卷第6期 >781-785
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基于显微激光多普勒的纳结构振动特性测试
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[cstr]
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TN247

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国家重点基础研究发展计划(973计划)


Analysis and characterization of nanostructure out-of-plane vibrations using micro laser doppler
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    为了分析NEMS典型器件静电激励纳米梁谐振器的振动特性,建立了测试中的关键模型静电激励纳米梁谐振器的等效电学模型、纳米梁谐振器的等效机械模型,以及静电激励纳梁谐振器在受激状态下受到的静电力与静电激励的相互关系模型.利用基于显微激光多普勒纳结构离面振动测试系统,对静电激励纳米梁谐振器的离面振动特性进行了测试,试结果验证了建模的正确性,同时对NENS加工工艺进行了评价和表征.

    Abstract:

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引用本文

徐临燕,栗大超,邱晗,胡小唐,赵大博.基于显微激光多普勒的纳结构振动特性测试[J].光电子激光,2008,(6):781~785

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  • 最后修改日期:2006-11-13
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