U型凹槽电极硅MSM结构光电探测器的研制
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国家自然科学基金资助项目 , 福建省自然科学基金资助项目
Research and fabrication of silicon based metal-semiconductor-metal photodetector with U-shape trench interdigitated electrodes
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黄燕华,陈松岩,李成,蔡加法,余金中. U型凹槽电极硅MSM结构光电探测器的研制[J].光电子激光,2008,(7):
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