用准分子加工系统制备了长度1 mm的微型光热驱动器,用红光半导体激光(650 nm)作为驱动源进行了驱动实验.结果表明,直接用激光束驱动可产生微米级偏转,激光束聚焦质量无严格限制,激光束在膨胀臂上的照射位置对偏转量不会造成明显影响.偏转量可调,当激光功率从0 mW增大到10 mW时,微型光热驱动器的偏转量可从0 μm增大到14.33 μm.本方法简单易行,可独立驱动运作,易于小型化,真正实现无线遥控操作.