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InP/空气隙结构的制作与特性
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[cstr]
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国家重点基础研究发展计划(973计划)


Fabrication and characterization of InP/air-gap structure
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    研究了采用不同溶液制作InP/空气隙的侧向腐蚀工艺,对腐蚀速率、晶向选择性、表面形貌进行了分析;研究了粘附释放工艺;在上述基础上制作完成了InP/空气隙结构,并采用微拉曼光谱来分析其应力分布情况,证实了制作工艺的可靠性.

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引用本文

刘成,曹春芳,劳燕锋,曹萌,吴惠桢. InP/空气隙结构的制作与特性[J].光电子激光,2008,(9):

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