红光GaInP/AlGaInP正方形微腔激光器
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TN248.4

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国家自然科学基金资助项目(60777028,60723002,60838003); 国家重点基础研究计划资助项目(2006CB302804)


Red GaInP/AlGaInP square microcavity lasers
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    利用普通光刻和感应耦合等离子体(ICP)刻蚀技术制作了红光GaInP/AlGaInP正方形微腔激光器,光功率电流曲线表明,器件实现了200 K的低温激射。对边长为10μm、输出波导长为30μm的正方形微腔激光器,室温测量得到的纵模模式间距为1.3 nm,所对应的是由输出波导和正方形腔组成的F-P腔的F-P模式。采用二维时域有限差分法(FDTD),模拟研究了侧壁粗糙对正方形腔模式品质因子的影响。

    Abstract:

    Red GaInP/AlGaInP microsquare lasers with output waveguide are fabricated by standard photolithography and inductively coupled plasma(ICP) etching techniques.The square microcavity lasers are operated at low temperature.For a 10-μm-side square microlaser with a 30-μm-long and 1.5-μm-wide output waveguide,the mode interval of 1.3 nm is observed in the amplified spontaneous emission spectra at room temperature,which corresponds to the longitudinal mode interval of the Fabry-Pérot(F-P) cavity that ...

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李敬.红光GaInP/AlGaInP正方形微腔激光器[J].光电子激光,2009,(10):1278~1281

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